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              真空腔體是保持里面為真空狀態的容器，真空腔體的制作要考慮容積、材質和形狀。不銹鋼是目前真空系統的主要結構材料。其中300系列不銹鋼是含Cr10%—20%的低碳鋼，具有優良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導電率和導熱率低、能夠在-270—900℃工作等優點，在高真空系統中應用廣。