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聯(lián)系人:許先生
13771502818
18762620800
郵 箱:xu@wxguode.com
地 址:無錫市濱湖區(qū)南湖社區(qū)寺前村
真空腔體的概述
這種真空腔體是為減少了半導(dǎo)體應(yīng)用中真空腔的個數(shù)而研發(fā)的,而晶圓容量不變。這種結(jié)構(gòu)采用了配備有壓差真空凹槽的預(yù)置空氣軸承的移動真空。產(chǎn)品的特點是機臺定位的靜態(tài)、動態(tài)響應(yīng),抽氣時間、穩(wěn)定時間縮短等等。
轉(zhuǎn)載請注明出處:
http://m.zgweisen.com
2019/06/17 11:14:46
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